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激光干涉仪在测量直线模组中的应用

作者/出处: 网络 发布时间: 2019-03-12

直线电机也称线性电机,线性马达,直线马达,推杆马达,是一?#20013;?#22411;电机,具有高加速、高减速、运动惯量小、高灵敏、系统刚性好、使用寿命长、安全可靠等优点,与光栅尺配合可形成闭环控制系统。?#21046;?#24212;用日益广泛,在计算机、自动化、精密直线位移的机械手等方面大有取代传统电机之势。磁悬浮列车上就是用直线电机来驱动的。

这种电机在生产过程中需要对其步长进行检测和调整从而达到更高的精度指标,我们可以按照设定的运动步长控制直线电机运行,利用激光干涉测量每运行一个步长对应的定位误差;根据定位误差?#21040;?#31435;误差补偿表,并对位置坐标进行修正,再利用修正值控制直线电机运?#23567;?/span>

既为利用API激光干涉仪测量直线模组的实例,API的激光干涉仪具有超高的精度,无需三脚架可快速安装固定,干涉镜组与主机集成一体,两点对光,比同类的激光干涉仪测量速度快。API激光干涉仪一次调光测量,就可以测量出直线模组的定位精度,重复性,反向间隙,水平方向直线度,竖直方向直线度等几何精度误差。

线性误差经过往返4次测量,最终得到的定位精度为0.0012mm,重复性为0.0006mm。不仅仅证明了直线电机的高精度,也验证了激光干涉仪自身的超高精度和稳定性。

PI激光干涉仪测量线性轴直线度?#20445;?#26080;需额外对光,无需更换光学镜组,在测量线性误差的同时即可得到双向直线度误差。这两个方向的直线度误差可直观实时的显示在电脑屏幕上,快捷方便且便于安装人员调整。

另外,DD是directdriver的简称,即直接驱动马达。API激光干涉仪在DD马达的测量方面,为用户提供了最简单,最经济的解决方案XD5LS激光干涉仪+多面体。多面体可根据客户不同需求选择12面、24面或36面棱体。其测量精度可达1角秒。

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